溶液法IGZO-TFTのドレイン電流にオゾンガスが与える影響
溶液法IGZO-TFTのドレイン電流にオゾンガスが与える影響
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臭氧气体对溶液法IGZO-TFT漏极电流的影响
DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
石井 啓介
中科院分区:
文献类型:
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作者:
笹島 宏青; 森本 貴明; 石井 啓介