Y.Taki: "Effects of deposition pressure on structure and hardness of amorphous carbon nitride films synthesized by shielded arc ion plating"Thin Solid Films. 334. 165-172 (1998)
Y.Taki: "Effects of deposition pressure on structure and hardness of amorphous carbon nitride films synthesized by shielded arc ion plating"Thin Solid Films. 334. 165-172 (1998)
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Y.Taki：“沉积压力对屏蔽电弧离子镀合成的非晶氮化碳薄膜的结构和硬度的影响”固体薄膜。
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