光周波数コム光源を用いた形状計測と膜厚測定
光周波数コム光源を用いた形状計測と膜厚測定
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使用光学频率梳光源的形状测量和膜厚测量
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
崔 森悦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
菊田健悟;高木康博;D.Moteki;崔 森悦
