ヨウ化銅を用いたルテニウム上への銅の選択化学気相堆積
ヨウ化銅を用いたルテニウム上への銅の選択化学気相堆積
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使用碘化铜在钌上选择性化学气相沉积铜
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山内智
中科院分区：
文献类型：
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作者：
堀内健佑;城塚達也;山内智
