レーザー駆動EUV光による物質アブレーションにおけるイオン膨張に関する研究
レーザー駆動EUV光による物質アブレーションにおけるイオン膨張に関する研究
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激光驱动 EUV 光烧蚀材料过程中离子膨胀的研究
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
西村博明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
出口亮;田中のぞみ;増田将也;砂原淳;余語覚文;西村博明
