ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成(第1報,摩擦力顕微鏡機構を利用した3次元微細構造形成の可能性)
ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成(第1報,摩擦力顕微鏡機構を利用した3次元微細構造形成の可能性)
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利用纳米级加工和化学蚀刻相结合形成三维超精细结构（第 1 部分，利用摩擦力显微镜机制形成三维微结构的可能性）
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
芦田極
中科院分区：
文献类型：
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作者：
川堰宣隆;森田昇;山田茂;高野登;大山達雄;芦田極
