Microfabrication of the Interdigital Transducers of Metal Thin Film on Piezoelectric Materials
Microfabrication of the Interdigital Transducers of Metal Thin Film on Piezoelectric Materials
复制标题
压电材料上金属薄膜叉指换能器的微加工
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Shinya Rikimaru and Takahiro Ito
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Sunao Murakami*;Naoto Tomiyama;Shinya Rikimaru and Takahiro Ito
