超高真空対応超音波モータの回転子形状及び材質の寿命への影響
超高真空対応超音波モータの回転子形状及び材質の寿命への影響
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超高真空兼容超声波电机转子形状和材料对寿命的影响
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
船見
中科院分区：
文献类型：
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作者：
新野;船見
