次世代非球面レンズ製作のための傾斜角積分型高速ナノ精度形状計測装置の開発-測定原理と測定方法
次世代非球面レンズ製作のための傾斜角積分型高速ナノ精度形状計測装置の開発-測定原理と測定方法
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开发用于制造下一代非球面透镜的利用倾角积分的高速纳米精度形状测量装置-测量原理和测量方法
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
東保男
中科院分区：
文献类型：
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作者：
齋藤歩;伊東拓;神谷淳;東保男
