Room Temperature Atomic Layer Deposition and its applications
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复制标题
室温原子层沉积及其应用
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
F.Hirose
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Ohno;K. Inoue;K. Fujiwara;K. Kutsukake;M. Deura;I. Yonenaga;Y. Shimizu;K. Inoue;N. Ebisawa;Y. Nagai;H. Yoshida;S. Takeda;S. Tanaka;M. Kohyama;Y. Asano;F.Hirose
