G.Wakayama, K.Nanbu: "Velocity Distribution of Ions Incident on a Wafer in Two Frequency Capacitively Coupled Plasmas"Proc.23rd Int. Symp. Rarefied Gas Dynamics, AIP Conf. Proc.. (印刷中). (2003)
G.Wakayama, K.Nanbu: "Velocity Distribution of Ions Incident on a Wafer in Two Frequency Capacitively Coupled Plasmas"Proc.23rd Int. Symp. Rarefied Gas Dynamics, AIP Conf. Proc.. (印刷中). (2003)
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G.Wakayama、K.Nanbu：“两频电容耦合等离子体中离子入射的速度分布”Proc.23 稀有气体动力学，AIP 会议（2003 年）。
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