変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究(第2報)-定在は照明シフト実験による解像原理の実験的検証-
変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究(第2報)-定在は照明シフト実験による解像原理の実験的検証-
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利用调制照明位移的超精密加工表面超分辨光学缺陷测量研究（第二报告）-通过固定照明位移实验验证分辨率原理-
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高増潔
中科院分区：
文献类型：
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作者：
臼杵深;西岡宏晃;高橋哲;高増潔
