マルチ・スパッタアニール法による多層極性反転AlN構造の作製
マルチ・スパッタアニール法による多層極性反転AlN構造の作製
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多次溅射退火法制备多层极性反转AlN结构
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
三宅 秀人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
玉野 智大;正直 花奈子;本田 啓人;上杉 謙次郎;肖 世玉;上向井 正裕;谷川 智之;片山 竜二;三宅 秀人
