Magnetic attraction force-preloaded aerostatic guideway for high speed nano positioning system
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复制标题
高速纳米定位系统磁吸力预载空气静压导轨
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hiroshi Sawano
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takumi Tsumura;Hayato Yoshioka;Hidenori Shinno;Hiroshi Sawano
