InP基板上の超高Sn組成Ge1-xSnxヘテロエピタキシャル層の結晶性改善
InP基板上の超高Sn組成Ge1-xSnxヘテロエピタキシャル層の結晶性改善
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InP衬底上超高Sn成分Ge1-xSnx异质外延层的结晶度改善
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中塚理
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高木孝明;柴山茂久;黒澤昌志;坂下満男;中塚理
