Preparation of Ultrasmooth and defect free 4H-SiC(0001) Surfaces by Elastic Emission Machining
Preparation of Ultrasmooth and defect free 4H-SiC(0001) Surfaces by Elastic Emission Machining
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通过弹性发射加工制备超光滑、无缺陷的 4H-SiC(0001) 表面
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kazuto Yamauchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Akihisa Kubota;Hidekazu Mimura;Kouji Inagaki;Yuzo Mori;Kazuto Yamauchi
