高周波強力超音波トランスデューサ用圧電結晶膜の製膜 とその評価
高周波強力超音波トランスデューサ用圧電結晶膜の製膜 とその評価
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高频强力超声换能器压电晶体薄膜的薄膜制作与评价
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
黒澤 実.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石河 睦生;内田 庸助;塚本 絢穂;齋藤 直;遠藤 聡人;安井 伸太郎;田原 麻梨江;舟窪 浩;黒澤 実.
