高荷重応用を目的とした厚膜ダイアフラムとストッパ構造をもつCMOS-on-LTCC集積化3軸触覚センサの開発
高荷重応用を目的とした厚膜ダイアフラムとストッパ構造をもつCMOS-on-LTCC集積化3軸触覚センサの開発
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开发用于高负载应用的具有厚膜隔膜和止动结构的 CMOS-on-LTCC 集成 3 轴触觉传感器
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
浅野翔，室山真徳，中山貴裕，畑良幸，野々村裕，田中秀治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Sho Asano;Masanori Muroyama;Takahiro Nakayama;Yoshiyuki Hata;Shuji Tanaka;浅野翔，室山真徳，中山貴裕，畑良幸，野々村裕，田中秀治
