Absolute measurements of 3D shape using white-light interferometer
Absolute measurements of 3D shape using white-light interferometer
复制标题
使用白光干涉仪对 3D 形状进行绝对测量
DOI：
10.1117/12.140782
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发表时间：
1993
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Yatagai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Itoh;Ronglong Tian;T. Yatagai
在泰曼-格林型干涉仪中，可以使用宽带光源测量样品的绝对高度。沿光轴沿着扫描参考镜以检测光程差为零的点。我们可以得到一个三维轮廓图，而不限制2（π）相位展开。我们构建了一个干涉系统，使用白光作为光源，并测量了20微米的步骤。
In the Twyman-Green type interferometer the absolute height of a sample can be measured using a broad-band light source. The reference mirror is scanned along the optical axis to detect the point that the optical path difference is zero. We can obtain a three dimensional contour map without restricting 2(pi) phase unwrap. We constructed an interferometric system using a white-light as a light source and measured a step of 20 micrometers .