宽周期掩膜法HVPE侧向外延自支撑GaN的研究
宽周期掩膜法HVPE侧向外延自支撑GaN的研究
复制标题
DOI：
10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2021.03.003
复制
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
徐科
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
陈王义博;徐俞;曹冰;徐科
