遊星式スピンコーターを用いた薄膜製膜法の開発
遊星式スピンコーターを用いた薄膜製膜法の開発
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使用行星旋涂机的薄膜沉积方法的开发
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
德丸和樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
長野 利春;早川 翔大;三浦 飛鳥;渡邊 厚介;矢吹 智英;宮崎 康次;戸部友輔，本間順，坂口勝久，関根秀一，岩﨑清隆，清水達也;安田一希，小林祐生，遠藤克浩，早川吉弘，藤原和彦，矢島邦昭，荒井規允，泰岡顕治;德丸和樹
