スパッタ法を用いたSi基板上へのPZTエピタキシャル薄膜の作製
スパッタ法を用いたSi基板上へのPZTエピタキシャル薄膜の作製
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溅射法在Si衬底上制备PZT外延薄膜
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
藤村 紀文
中科院分区：
文献类型：
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作者：
村瀬 幹生;和泉 享兵;吉村 武;藤村 紀文
