単結晶シリコン加速度センサの有限要素法による構造設計
単結晶シリコン加速度センサの有限要素法による構造設計
复制标题
基于有限元法的单晶硅加速度传感器结构设计
DOI：
--
复制
发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
菅原 澄夫
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
H.Oglivy;H.M.Pask;J.M.Piper T.Omatsu;菅原 澄夫;菅原 澄夫;Sumio Sugawara;Sumio.Sugawara;菅原 澄夫;菅原 澄夫
