PIG-PECVD法による積層DLC膜の残留応力の低減
PIG-PECVD法による積層DLC膜の残留応力の低減
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PIG-PECVD法降低叠层DLC薄膜的残余应力
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松村 直巳
中科院分区：
文献类型：
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作者：
近藤 裕佑,筧 芳治;佐藤 和郎;松村 直巳
