Magnetic potential based formulation for linear and non-linear 3D RF sheath simulation
Magnetic potential based formulation for linear and non-linear 3D RF sheath simulation
复制标题
基于磁势的线性和非线性 3D RF 护套模拟公式
DOI：
10.1088/1741-4326/aca6f9
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
3.3
通讯作者：
M. Ono
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
S. Shiraiwa;N. Bertelli;W. Tierens;R. Bilato;J. Hillairet;J. Myra;H. Kohno;M. Poulos;M. Ono
本文提出了一种新的数值格式来模拟射频(RF)诱导的射频鞘层，该格式适用于大型三维模拟。在射频鞘层边界模型中，电场的切向分量(
This paper reports a new numerical scheme to simulate the radio-frequency (RF) induced RF sheath, which is suitable for a large 3D simulation. In the RF sheath boundary model, the tangential component of the electric field (