K.Furukawa et al.: "Study of RF Power Dependence of CF_4 Plasma Treatment for H-Y Zeolite"MRS-J. 26. 1201-1203 (2001)
K.Furukawa et al.: "Study of RF Power Dependence of CF_4 Plasma Treatment for H-Y Zeolite"MRS-J. 26. 1201-1203 (2001)
复制标题
K.Furukawa 等人：“H-Y 沸石的 CF_4 等离子体处理的 RF 功率依赖性研究”MRS-J。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
