斜入射軟X線共鳴散乱を用いたレジスト薄膜中の化学構成材の空間分布測定
斜入射軟X線共鳴散乱を用いたレジスト薄膜中の化学構成材の空間分布測定
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利用掠入射软 X 射线共振散射测量抗蚀剂薄膜中化学成分的空间分布
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
渡邊健夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中本敦啓;山川進二;原田哲男;渡邊健夫
