多重ゲルマニウム負イオン注入したSi02膜からのフォトルミネッセンス強度のドーズ量依存性
多重ゲルマニウム負イオン注入したSi02膜からのフォトルミネッセンス強度のドーズ量依存性
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注入多个锗负离子的 SiO2 薄膜的光致发光强度的剂量依赖性
DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
石川順三
中科院分区:
文献类型:
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作者:
服部真史;辻 博司;洗 暢俊;小嶋研史;足立浩一郎;小瀧 浩;後藤康仁;石川順三