New Micromachining Technique for Unworkable Sapphire by Highly Coalesced Ion Implantation and Eximer Laser Irradiation
New Micromachining Technique for Unworkable Sapphire by Highly Coalesced Ion Implantation and Eximer Laser Irradiation
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通过高度聚结离子注入和准分子激光辐照加工不可加工蓝宝石的新微加工技术
DOI：
10.1252/kakoronbunshu.40.131
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发表时间：
2014
影响因子：
0.4
通讯作者：
菖蒲敬久
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石山新太郎;大場弘則;山本春也;菖蒲敬久
