PMMA(ポリメチルメタクリレート)のビームエッチング分子動力学シミュレーション
PMMA(ポリメチルメタクリレート)のビームエッチング分子動力学シミュレーション
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PMMA（聚甲基丙烯酸甲酯）的束蚀刻分子动力学模拟
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
森田泰光
中科院分区：
文献类型：
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作者：
林直顕;高野幹夫;森田泰光
