Process for micro-fabrication of spherical microlens array by utilizing the effect of surface tensions
Process for micro-fabrication of spherical microlens array by utilizing the effect of surface tensions
复制标题
利用表面张力效应微加工球形微透镜阵列的工艺
DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Hidehiko Yamaoka
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Yuito Miyashita;Kohki Nagata;Hidehiko Yamaoka