C. Lee, T. Itoh and T. Suga: "Micromachined piezo electric force sensors based on PZT thin films." IEEE Trans. on Ultrasonics, Piezoelectric and Fregguercy Conpol. (発表予定). (1996)
C. Lee, T. Itoh and T. Suga: "Micromachined piezo electric force sensors based on PZT thin films." IEEE Trans. on Ultrasonics, Piezoelectric and Fregguercy Conpol. (発表予定). (1996)
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C. Lee、T. Itoh 和 T. Suga：“基于 PZT 薄膜的微机械压电力传感器。”超声波、压电和 Fregguercy Conpol（即将发表）。
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