RF plasma investigations for plasma-assisted MBE growth of (Ga,In)(As,N) materials
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(Ga,In)(As,N) 材料等离子体辅助 MBE 生长的射频等离子体研究
DOI：
10.1016/s0022-0248(02)01527-0
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发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
E. Bedel
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Carrère;A. Arnoult;A. Ricard;E. Bedel
