Ion beam sputter deposition of Ag films: Influence of process parameters on electrical and optical properties, and average grain sizes
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DOI：
10.1016/j.tsf.2013.11.097
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发表时间：
2014-01
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
C. Bundesmann;René Feder;J. Gerlach;H. Neumann
中科院分区：
文献类型：
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作者：
C. Bundesmann;René Feder;J. Gerlach;H. Neumann
