超音波モータを用いた超高真空対応回転導入器の開発-アルミ回転子を使った駆動時間の延長
超音波モータを用いた超高真空対応回転導入器の開発-アルミ回転子を使った駆動時間の延長
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使用超声波电机开发对应超高真空的旋转导入器 - 使用铝转子延长驱动时间
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
道端
中科院分区：
文献类型：
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作者：
新野;船見;道端
