毅田直: 半導体基盤技術研究会編、超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム、サブミクロンULSIプロセス技術、プロシーディング. 7. 229-241 (1988)
毅田直: 半導体基盤技術研究会編、超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム、サブミクロンULSIプロセス技術、プロシーディング. 7. 229-241 (1988)
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Naoshi Takeda：半导体基础技术研究小组编辑，Very LSI 超清洁技术研讨会，亚微米 ULSI 工艺技术，论文集。 7. 229-241 (1988)
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