T.Yamamoto: "Soft X-Ray Lithography by a Gas-Puff Pinch" Research Report NIFS-PROC 8Series, National Institute for Fusion Science, Nagoya. NIFS-PROC-26-5. 174-178 (1996)
T.Yamamoto: "Soft X-Ray Lithography by a Gas-Puff Pinch" Research Report NIFS-PROC 8Series, National Institute for Fusion Science, Nagoya. NIFS-PROC-26-5. 174-178 (1996)
复制标题
T.Yamamoto:“通过气体吹胀捏紧进行软 X 射线光刻”研究报告 NIFS-PROC 8Series,国家融合科学研究所,名古屋。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: