Kikuo Tominaga, Takahiro Ao, Ichiro Mori, Kazuya Kusaka and Takao Hanabusa: "Gas Pressure Dependence of AlN Films Prepared in Alternative Magnetron Sputtering" Jpn.J.Appl.Phys.Vol.135. 4972-4975 (1996)
Kikuo Tominaga, Takahiro Ao, Ichiro Mori, Kazuya Kusaka and Takao Hanabusa: "Gas Pressure Dependence of AlN Films Prepared in Alternative Magnetron Sputtering" Jpn.J.Appl.Phys.Vol.135. 4972-4975 (1996)
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Kikuo Tominaga、Takahiro Ao、Ichiro Mori、Kazuya Kusaka 和 Takao Hanabusa：“替代磁控溅射制备的 AlN 薄膜的气压依赖性”Jpn.J.Appl.Phys.Vol.135。
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