電子ビーム蒸着と高圧水蒸気熱処理によるアモルファスシリコン薄膜の消光係数の低減
電子ビーム蒸着と高圧水蒸気熱処理によるアモルファスシリコン薄膜の消光係数の低減
复制标题
电子束蒸发和高压蒸汽热处理降低非晶硅薄膜消光系数
DOI：
--
复制
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
鮫島 俊之
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
山下 雄也;清水 大雅;鮫島 俊之
