Investigation of InAlAs oxide/InP metal-oxide-semiconductor structures formed bywet thermal oxidation
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复制标题
湿热氧化形成的 InAlAs 氧化物/InP 金属氧化物半导体结构的研究
DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
S. Takagi
中科院分区:
文献类型:
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作者:
S. Nakagawa;M. Yokoyama;O. Ichikawa;M.Hata;M. Tanaka;M. Takenaka;S. Takagi