Mamoru,Baba: "Selective Masking Effects of WO_3 Resist on Impurity Diffusion and Oxidation in Silicon" Japanese Journal of Applied Physics. 26. 1561-1564 (1987)

Mamoru,Baba: "Selective Masking Effects of WO_3 Resist on Impurity Diffusion and Oxidation in Silicon" Japanese Journal of Applied Physics. 26. 1561-1564 (1987)
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Mamoru,Baba:“WO_3抗蚀剂对硅中杂质扩散和氧化的选择性掩蔽效应”日本应用物理学杂志。

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