Development and Optimization of Cascaded Arc Plasma Source in TPD-II
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复制标题
TPD-II 级联电弧等离子体源的开发与优化
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Takagi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Hayashi;Y.Mamaji;S.Masuzaki;N.Ezumi;N.Ohno;S.Namba;M.Takagi
