Xuantong Ying,Yoshinori Morita,Taro Kamiko,Isamu Kato: "Fabrication of SiN Film by Using Coaxial Line Type MPCVD System with Longitudinal Magnetic Field" Proceedings of ICRP-3/SPP-14. Pl-31. 144-145 (1997)
Xuantong Ying,Yoshinori Morita,Taro Kamiko,Isamu Kato: "Fabrication of SiN Film by Using Coaxial Line Type MPCVD System with Longitudinal Magnetic Field" Proceedings of ICRP-3/SPP-14. Pl-31. 144-145 (1997)
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应玄同、森田义德、神子太郎、加藤勇：“利用纵向磁场同轴线型MPCVD系统制备SiN薄膜”ICRP-3/SPP-14论文集。
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