Planarization of SiC and oxide surfaces by using Catalyst-Referred Etching with water
Planarization of SiC and oxide surfaces by using Catalyst-Referred Etching with water
复制标题
使用催化水蚀刻对 SiC 和氧化物表面进行平坦化
DOI：
--
复制
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Pho Van Bui
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Takuya Kobayashi;and Atsushi Kawamoto;Pho Van Bui
