Generation of Spiral Shape Nitrogen Recombining Plasma for Atomic Nitrogen Source
Generation of Spiral Shape Nitrogen Recombining Plasma for Atomic Nitrogen Source
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原子氮源螺旋形氮复合等离子体的产生
DOI：
10.1585/pfr.14.3401069
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发表时间：
2019
影响因子：
0.8
通讯作者：
Shin KAJITA and Hirohiko TANAKA
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Koji ASAOKA;Noriyasu OHNO;Yuki HAYASHI;Shin KAJITA and Hirohiko TANAKA
