サファイアCMPにおける水酸化フラーレン混合スラリーに関する研究コロイタルシリカスラリーをヘースとした研磨特性の検証
サファイアCMPにおける水酸化フラーレン混合スラリーに関する研究コロイタルシリカスラリーをヘースとした研磨特性の検証
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氢氧化富勒烯混合浆料在蓝宝石CMP中的研究 以硅胶浆料为基底的抛光性能验证
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
齊藤貴志,鈴木恵友他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A.Yui;A.Honda;S.Okuyama;T.Kitajima;G.Okahata;H.Saito;A.H.Slocum;齊藤貴志,鈴木恵友他
