Synthesis of diamond-like carbon thin film via multi pulse high-power impulse magnetron sputtering
Synthesis of diamond-like carbon thin film via multi pulse high-power impulse magnetron sputtering
复制标题
多脉冲高功率脉冲磁控溅射合成类金刚石碳薄膜
DOI：
--
复制
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Takashi Kimura
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
佐藤 裕之;関川 純哉;森田真仁，部矢明，高原一晶，新口昇，平田勝弘;Takashi Kimura
