液体処理用マイクロ波励起プラズマの生成

液体処理用マイクロ波励起プラズマの生成
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产生用于液体处理的微波激发等离子体

DOI:
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发表时间:
2018
期刊:
表面と真空
影响因子:
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通讯作者:
豊田浩孝
豊田浩孝
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
K. Tachibana;T. Nakamura;M. Kawasaki;T. Morita;T. Umekawa and M. Kawasaki;豊田浩孝

文献摘要

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