RT atomic layer deposition of TiO2 and its application to nanoparticle coating
RT atomic layer deposition of TiO2 and its application to nanoparticle coating
复制标题
TiO2 的 RT 原子层沉积及其在纳米粒子涂层中的应用
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
F. Hirose
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Kanomata;K. Kikuchi;B. Ahmmad;S. Kubota;F. Hirose
