高温アニールしたスパッタAlN上に成長させたAlNの陰極線蛍光評価(1)
高温アニールしたスパッタAlN上に成長させたAlNの陰極線蛍光評価(1)
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高温退火溅射 AlN 上生长的 AlN 的阴极射线荧光评估 (1)
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
嶋紘平,中須大蔵,正直花奈子,上杉謙次郎,小島一信,上殿明良,三宅秀人,秩父重英
中科院分区：
文献类型：
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作者：
加地俊瑛;寄田浩平他;鳥居祥二;嶋紘平,中須大蔵,正直花奈子,上杉謙次郎,小島一信,上殿明良,三宅秀人,秩父重英
